采用脉冲高压高频等离子体电源和齿板放电装置，使其产生高强度、高浓度、高电能的活性自由基，在毫秒级的时间内，瞬间对有害废气分子进行还原反应，将废气中的大部分污染物降解成水及易处理的物质,利用高吸附性，持续地对等离子体未处理尽的污染物和生成的物质进行催化反应，使有害废气经多级净化后最终达标排放。

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